TMC主動(dòng)消振平臺系統Stage-Base繼續在先進(jìn)技術(shù)的基礎上開(kāi)發(fā)新的解決方案，以滿(mǎn)足半導體工具對其隔振系統提出的挑戰性要求。Stage-Base 450是專(zhuān)為帶高精度電動(dòng)X(jué)-Y平臺的高級半導體工具而設計的主動(dòng)消振系統。

TMC氣浮綜合性主動(dòng)隔振系統，LaserTable-Base™是現有光學(xué)平臺隔振技術(shù)的一大飛躍。通常，光學(xué)平臺由低頻氣動(dòng)隔振系統支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動(dòng)系統實(shí)際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內的振動(dòng)。

賽默飛世爾定制版SEM主動(dòng)隔振平臺，SEM-Base-LP是我們的標準SEM-Base主動(dòng)壓電振動(dòng)消除平臺的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安裝，提供*越的性能，并且符合人體工程學(xué)優(yōu)化。

SEM主動(dòng)隔振平臺，SEM-Base®VI是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設計用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強大的控制器和高級圖形用戶(hù)界面（GUI）。SEM-Base VI使許多實(shí)驗室和設施達到了滿(mǎn)足工具制造商規格所需的地面振動(dòng)水平。

TMC地面式主動(dòng)隔振光學(xué)平臺，對于傳統的實(shí)驗室地面，隔離高大工具的建筑地面振動(dòng)是一個(gè)人體工程學(xué)領(lǐng)域的挑戰。將隔振器直接放置在工具下方可能會(huì )將工具抬高到一個(gè)不切實(shí)際的高度。此外，傳統空氣隔振器放置在一個(gè)較高、上重下輕的有效載荷之下時(shí)不穩定。

TMC地面式主動(dòng)隔振平臺STACIS Quiet Island半導體制造工廠(chǎng)、納米技術(shù)中心、納米工廠(chǎng)和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動(dòng)假地面系統結合在一起，以滿(mǎn)足復雜的設施要求（管道、電纜、燃氣管道等）和保持嚴格的清潔標準。這種地面不適用于對振動(dòng)敏感的生產(chǎn)、檢測和計量設備?；顒?dòng)地面無(wú)法為這些工具提供必要的安靜振動(dòng)環(huán)境。