TMC主動(dòng)空氣消振器
TMC主動(dòng)空氣消振器,Electro-Damp®是第一款專(zhuān)門(mén)用于提高半導體制造應用中的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量的商用主動(dòng)隔振系統。Electro-Damp II是對原始系統的*全重新設計,增加了模塊化、數字控制、前饋、高力/高間隙執行器以及多個(gè)專(zhuān)門(mén)設計用于OEM應用(如顯微光刻、檢測和計量工具)的數字用戶(hù)界面。
更新時(shí)間:2024-05-23
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
查看詳細介紹